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å·¥äšg˜q›è¡Œ‹È€å…‰åˆ¶æŽ©è†œæ—Óž¼Œå…ˆè§„划激光填充图案扫ææ–¹å¼å’Œè·¯å¾„

¾~–辑   é‡åº†åˆåˆ»   å‘表äº?022-08-23

å·¥äšg˜q›è¡Œ‹È€å…‰åˆ¶æŽ©è†œæ—Óž¼Œå…ˆè§„划激光填充图案扫ææ–¹å¼å’Œè·¯å¾„。采用脉冲方å¼è¾“出的光纤‹È€å…‰ï¼Œæ‰«æ轨迹ç”׃¸€¾pÕdˆ—有一定光斑直径的圆组æˆã€‚激光扫æ线宽由‹È€å…‰å…‰æ–‘直径决定,‹È€å…‰æ‰«æèµ\径规划由‹È€å…‰æ‰«æ线宽和¾U‰K—´è·ç¡®å®šã€?

首先利用‹È€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§æŠ€æœ¯ï¼Œç”¨å…‰¾U¤æ¿€å…‰é«˜å¯†åº¦èƒ½é‡æŸæŒ‰ä¸€å®šèµ\径扫æ?04ä¸é”ˆé’?06Cr19Ni10)æ料表é¢åQŒåœ¨å…¶è¡¨é¢ä‹É之生æˆå…·æœ‰è“vä¿æŠ¤ä½œç”¨çš„掩膜图案。然åŽé‡‡ç”¨é«˜é¢‘脉冲电(sh¨´)‹¹è¿›è¡Œå¾®¾l†ç”µ(sh¨´)解加工,用片犉™‡‘属电(sh¨´)æžä½œå¾®ç»†ç”?sh¨´)解加工阴æžåQŒç”ŸæˆæŽ©è†œå›¾æ¡ˆçš„ä¸é”ˆé’¢äØ“é˜ÏxžåQŒç‰‡çŠ‰™‡‘属电(sh¨´)æžåœ¨ä¸Žå·¥ä»¶è¡¨é¢ä¸Šæ–šw—´éš”一定跼›»è¿›è¡Œåå¤æ‰«æã€?

ç”׃ºŽä¸é”ˆé’¢å·¥ä»¶è¡¨é¢æœ‰æš‚时的掩膜ä¿æŠ¤å±‚åQŒé‡‘属电(sh¨´)解è…蚀速度明显¾~“æ…¢åQŒè€Œæ²¡æœ‰æŽ©è†œä¿æŠ¤å±‚区域金属能被快速电(sh¨´)解è…蚀åQŒå°±èƒ½å®žçŽ°å¾®¾l†ç”µ(sh¨´)解定域加工,å¯å¾—到按一定掩膜图案ä¿æŠ¤çš„二维¾l“构微型腔ã€?

一‹Æ¡æ¿€å…‰æŽ©è†œç”µ(sh¨´)解加工型腔很‹¹…,å¯è¿›è¡Œå¤š‹Æ¡æ¿€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µ(sh¨´)解加工,æ高型腔加工深度åQŒæ¿€å…‰æŽ©è†œå›¾æ¡ˆé‡å¤å®šä½ç²¾åº¦å°äº?μm。如果毋ơ制作的掩膜层图案ä¸åŒï¼Œå¯åŠ å·¥å…·æœ‰å¤šå±‚结构的微å°åž‹è…”ã€?